潔淨區消防安全設備設置要點|條文架構導讀與設備要求總覽
法令規範 技術標準 公開版
潔淨區消防安全設備設置要點|條文架構導讀與設備要求總覽
以可查證資訊整理:本要點係針對「電子工業廠房潔淨區」之構造與製程特性,依消防法第六條第三項規定訂定之審查遵循要點; 重點涵蓋用語定義與型式、二氧化碳滅火器與室內消防栓、密閉濕式自動撒水(含黃光微影區預動式)、警報與吸氣式偵煙、 排放易燃性氣體之排氣導管撒水門檻,以及免設排煙防煙壁條件與未規定事項之回歸適用。
立法背景與目的
本要點係因「電子工業廠房潔淨區」具潔淨環境與構造特殊性,依消防法第六條第三項規定,針對不適用《各類場所消防安全設備設置標準》之一部之情形, 改以本要點規範其消防安全設備設置,供各級消防機關審查時遵循。電子工業範圍包含積體電路製造、半導體封裝及測試、液晶面板及組件、發光二極體、太陽能電池製造等,以及中央主管機關認定之業別。

可查證摘要核心重點
以可查證資訊整理:本要點採「潔淨區特性」導向的設置規則,核心在於「回風層/回風豎井」等特殊空間、製程機臺與自動物料搬運系統環境下的撒水與偵煙配置; 並補強排放易燃性氣體之排氣導管內部撒水門檻及黃光微影區之加嚴條件。
可查證摘要
適用於電子工業廠房之潔淨區;並說明本要點係因潔淨環境及構造特殊,作為審查遵循之依據。
定義潔淨區/潔淨室、上回風層、下回風層、回風豎井、冷卻乾盤管、蓄電池室、風機過濾機組、氣淋室、管橋、自動物料搬運系統等,並以附圖一至四示意潔淨區型式。
潔淨室、上回風層、下回風層及回風豎井頂部:密閉濕式自動撒水;快速反應型;撒水密度 8.15 L/㎡/min;最遠 30 顆連續 60 分鐘;水流檢知分區/集中識別;並含氣淋室免設與黃光微影區預動式加嚴條件。
潔淨室、下回風層、管橋:手動報警;潔淨室/回風層/管橋:火警自動警報或吸氣式偵煙;回風豎井:吸氣式偵煙;訊號需移報並整合至火警受信總機或其他控制設備/設施。
排放易燃性氣體之排氣導管:材質非不燃、且導管內最大截面積 ≥ 0.048㎡ 時,導管內部需設自動撒水(密度 ≥ 1.9 L/㎡/min、最遠 5 顆 60 分鐘、間距限制、連接處下游 1m 設頭、獨立分區水流檢知/控制閥、排水裝置)。
本要點未規定之部分,回歸適用《各類場所消防安全設備設置標準》之規定;公共危險物品一般處理場所另有選設放寬條件。
本要點屬「潔淨區專用之消防安全設備設置遵循要點」,用以補足或替代《各類場所消防安全設備設置標準》在潔淨區特殊構造(回風層、回風豎井、製程設備與自動物料搬運)情境下之設置適用性; 提供各級消防機關審查時之依循標準,並就撒水、偵煙、栓箱及排氣導管內部撒水等項目提出可檢核之量化要求。
- 電子工業廠房之起造人、設計人、監造人、施工與機電整合單位:潔淨區消防設備設置檢討與整合。
- 消防專業技術人員與審查單位:依本要點就撒水、警報偵煙、室內消防栓與排氣導管內部撒水門檻進行審認。
- 廠務/設施管理與風險管理單位:設備維護、測試、分區圖面管理與警報整合(含水流檢知集中識別)。
- 製程與自動化系統單位:涉及製程機臺、配管、自動物料搬運系統造成的撒水頭位置例外與空間需求協調。
說明潔淨區之立法目的與適用業別;明確「潔淨區、潔淨室、回風層/豎井、設備室、管橋與自動物料搬運系統」等關鍵用語,並以附圖示意潔淨區型式。
潔淨室/下回風層/管橋之 CO₂ 滅火器與室內消防栓;潔淨室/回風層/回風豎井之密閉濕式自動撒水(含密度、供水量、撒水頭位置例外、水流檢知分區/集中識別、氣淋室免設),並含黃光微影區之預動式加嚴與回彎管圖例。
規定潔淨室/回風層/管橋之警報偵煙配置原則,回風豎井需設吸氣式偵煙;訊號須移報並整合至火警受信總機或其他控制設備/設施(站);並列火警自動警報設備採偵煙式探測器等要求。
規範避難器具與免設條件(如符合建築技術規則第93條、設吸氣式偵煙、設自動撒水等);排煙設備可因自動物料搬運系統作業需求,免防煙壁區劃。
潔淨區內公共危險物品一般處理場所,依《各類場所消防安全設備設置標準》第201條檢討滅火設備時,第三/四類若以不燃材料管路輸送且於密閉機臺內處理,得選設第二種滅火設備;其餘未規定部分回歸適用《各類場所消防安全設備設置標準》。
| 系統類別 | 設置區域(本要點列舉) | 設備/要求(摘要) |
|---|
| 滅火設備 | 潔淨室、下回風層、管橋 | 二氧化碳滅火器;室內消防栓設備。 |
| 自動撒水(核心) | 潔淨室、上回風層、下回風層、回風豎井頂部(氣淋室可免) | 密閉濕式自動撒水;快速反應型(第一種感度);密度 ≥ 8.15 L/㎡/min; 水源:最遠 30 顆連續 60 分鐘;撒水頭位置依第47條/第211條規定裝置並有製程需求例外; 水流檢知分區或集中設置(集中需備分區識別圖面)。 |
| 黃光微影區(專章) | 潔淨室之黃光微影區(Photolithography) | 得設預動式自動撒水;區劃以不燃或耐燃一級材料以上;水源容量之撒水頭數量追加 50%; 感知裝置以吸氣式偵煙或偵煙式探測器(第一種感度)啟動水流檢知; 配管設置回彎管(Return Bend)者(如附圖五),得視為符合《設置標準》第55條第4款但書規定。 |
| 排氣導管內部撒水 | 排放易燃性氣體之排氣導管(材質非不燃、且最大截面積 ≥ 0.048㎡) | 導管內部設自動撒水:密度 ≥ 1.9 L/㎡/min;水源:最遠 5 顆連續 60 分鐘; 水平間距 ≤ 6.1m、垂直間距 ≤ 3.7m;與較大截面導管連接處下游 1m 內設頭; 獨立分區水流檢知或同等性能控制閥;排水裝置排出導管外。 「易燃性氣體」係指易燃成分在空氣中濃度超過其燃燒下限 25% 以上者。 |
| 警報設備 | 潔淨室、回風層、管橋、回風豎井 | 手動報警(潔淨室/下回風層/管橋);火警自動警報或吸氣式偵煙(潔淨室/上回風層/下回風層/管橋); 回風豎井:吸氣式偵煙;訊號需移報並整合至火警受信總機或其他控制設備/設施(站)。 |
| 避難與排煙 | 潔淨區(依條件) | 避難器具得依條件免設(含避難步行距離符合建築技術規則第93條、設吸氣式偵煙、設自動撒水等); 排煙設備因自動物料搬運系統作業需求,得免防煙壁區劃。 |
| 公共危險物品(放寬) | 潔淨區內之公共危險物品一般處理場所 | 依《設置標準》第201條檢討;第三/四類公共危險物品如以不燃材料管路輸送且於密閉機臺內處理,得選設第二種滅火設備,不受第198條限制。 |
| 未規定事項 | — | 本要點未規定部分,應符合《各類場所消防安全設備設置標準》之規定。 |
- 消防法(本要點係依消防法第六條第三項規定訂定之審查遵循要點)
- 各類場所消防安全設備設置標準(本要點未規定部分回歸適用;並引用第47條、第55條第4款但書、第201條、第211條等規定)
- 建築技術規則建築設計施工編第九十三條(避難步行距離;作為避難器具免設條件之一)
- 中央消防主管機關另定之撒水密度計算方式(第6點第(二)款及排氣導管撒水密度計算方式)
名詞小字典(公開版)
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用語對齊
空氣中粒子濃度控制符合 ISO 14644 等級 1(Class 1)至等級 9(Class 9)之區域(型式示意如附圖一至四)。
下回風層(Return Air Plenum)
定義潔淨室下方層。
利用高速潔淨氣流吹落並清除進入潔淨室人員、物料表面附著粒子之區域(本要點並規定可免設撒水頭)。
附圖提示
附圖一至四:潔淨區型式剖面示意;附圖五:撒水頭配管設置回彎管(Return Bend)圖例(與第6點修正條文連動)。
重要提醒
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